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本公司方法涉及一种基于法向跟踪的自由曲面共焦测量方法及装置，属于光学精密检测领域。背景技术：自由曲面光学元件具有较大的表面形貌自由度，在成像系统中具有改善光学系统成像质量、提高分辨能力、增大作用距离、简化仪器结构、减小仪器体积重量和提高可靠性等优点。使用自由曲面光学系统代替的平面镜、球面镜、共轴二次曲面镜等已经成为光学系统发展的重要趋势。但是，自由曲面在增加了设计自由度的同时，对光学设计、加工和检测提出了更高的要求。随着光学cad与数控金刚石点加工技术在光学设计与制造中得到成功应用，自由曲面的设计与加工已不再是主要技术障碍，但测量问题却成为亟待研究解决的难题。金刚石点加工技术对自由曲面面形的加工精度，主要取决于对面形上各点空间坐标的测量准确度，因此，元件面形能否满足设计要求，必须由高精度的检测技术来保证。目前，国际上自由曲面的表面轮廓测量方法，主要分为光场图像探测法、层析扫描探测法和探针三维扫描探测法三大类。其中，图像探测法测量过程无需对样品进行扫描，测量速度快，但易受到样品表面反射率、粗糙度等特性差异影响，无法适应任意倾角变化的自由曲面高精度测量；层析扫描法原理简单。减少眩光、提高夜间行车的安全性；杭州在线玻璃面型检测咨询

尤其是蚀刻处理的后半部分)，需要减慢蚀刻速率来准确地控制蚀刻量。虽然在本实施方式中设为通过2重量％以下的薄的氢氟酸来以3μm/分以下的慢的速度进行蚀刻处理，但不限于该手法。若并非使蚀刻速率在整个蚀刻处理过程中都慢，而是刚开始采用较快的蚀刻速率然后分阶段地减慢，则能缩短蚀刻处理的时间。例如，采用如下构成即可：越往蚀刻装置300的后级，越使蚀刻液中的氢氟酸浓度下降。若切取多块用玻璃母材50经过蚀刻装置300，则改性线20被蚀刻。在改性线20处，与其他部位相比，蚀刻液更快地浸透，玻璃沿该线溶解，从而通过改性线20，切断彩色滤光片基板变得容易。另外，即使在激光照射时发生了伤痕等的情况下，该伤痕也容易消失。若蚀刻处理结束，则将所粘贴的耐蚀刻膜16剥离。接着，对于切取多块用玻璃母材50，如图11的(a)～图11的(c)所示，进行用于形成端子部切断槽30的处理，端子部切断槽30用于去除彩色滤光片基板14中的与阵列基板12的电极端子部122对置的区域。在本实施方式中，通过刻划轮(cutterwheel)250，在彩色滤光片基板14中的与阵列基板12的电极端子部122对置的区域的内侧形成端子部切断槽30。杭州高铁玻璃面型检测推荐厂家悬架检验，提升安全系数及舒适度。

但能抑制液晶层中的不良状况的发生，同时能容易地进行切取多块用玻璃母材50的分割。在本实施方式中同样，改性线20与上述图2的(a)所示同样，呈具有多个贯通孔或者改性层的穿孔状。改性线20具有比切取多块用玻璃母材50中的其他部位更容易被蚀刻的性质。当然，改性线20的形状不限于该形状，还可以呈除此以外的形状。在切取多块用玻璃母材50中沿形状切断预定线形成有改性线20后，切取多块用玻璃母材50如图8的(a)以及图8的(b)所示，在两个主面粘贴具有耐蚀刻性的耐蚀刻膜16。在此，作为耐蚀刻膜16，采用了厚度为50～75μm的聚乙烯。但耐蚀刻膜16的构成不限于此。例如，若是像聚丙烯、聚氯乙烯、烯烃系树脂等那样具有对用于蚀刻玻璃的蚀刻液的耐性的材料，则还能酌情选择采用。若耐蚀刻膜16的粘贴完成，则接下来如图8的(c)所示，沿与要取出的液晶面板10的形状对应的形状切断预定线来进行激光束对耐蚀刻膜16的扫描。通过该激光束的扫描，沿形状切断预定线去除耐蚀刻膜16。而且，沿形状切断预定线形成耐蚀刻膜16的开口部，其结果是，与图2的(c)所示的构成同样，切取多块用玻璃母材50的改性线20的形成位置将露出至外部。

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