摘要 随着科学技术的发展进步，材料的研发和生产应用进入了微纳米尺度，微纳米材料凭借其出色的性能被人们普遍应用于科研和生产生活的各方各面。与此同时，人们正深入研究探索微纳米尺度的材料力学性能参数测量技术方法，以满足微纳米材料的飞速发展和应用需求。微纳米力学测量技术的应用背景，随着材料的研发生产和应用进入微纳米尺度,以往的通过宏观的力学测量手段已不适用于测量微纳米薄膜和器件的力学性能参数的测量。近年来，微纳米压入和划痕等力学测量手段随着微纳米材料的发展和应用，在半导体薄膜和器件、功能薄膜、新能源材料、生物材料等领域应用愈发普遍，因此亟待建立基于微纳米尺度的材料力学性能参数测量的技术体系。纳米力学测试是一种用于研究纳米尺度材料力学性质的实验方法。广西半导体纳米力学测试实验室
纳米纤维已经展现出各种有趣的特性，除了高比表面积-体积比，纳米纤维相比于块状材料，沿主轴方向有更突出的力学特性。因此纳米纤维在复合材料、纤维、支架（组织工程学）、药物输送、创伤敷料或纺织业等领域是一种非常有应用前景的材料。纳米纤维机械性能（刚度、弹性变形范围、极限强度、韧性）的定量表征对理解其在目标应用中的性能非常重要，而测量这些参数需要高度专业画的仪器，必须具备以下功能：以亚纳米的分辨率测量非常小的变形；在测量的时间量程（例如100 s）内在纳米级的位移下保持高度稳定的测量系统；以亚纳米分辨率测量微小力；处理（捡取-放置）纳米纤维并将其放置在机械测试仪器上。深圳材料科学纳米力学测试方法跨学科合作，推动纳米力学测试技术不断创新，满足多领域需求。
纳米压痕法：纳米压痕硬度法是一类测量材料表面力学性能 的先进技术。其原理是在加载过程中 试样表面在压头作用下首先发生弹性变形，随着载荷的增加试样开始发生塑性变形，加载曲线呈非线性，卸载曲线反映被测物体的弹性恢复过程。通过分析加卸载曲线可以得到材料的硬度和弹性模量等参量。纳米压痕法不只可以测量材料的硬度和弹性模量，还可以根据压头压缩过程中脆性材料产生的裂纹估算材料的断裂韧性，根据材料的位移压力曲线与时间的相关性获悉材料的蠕变特性。除此之外，纳米压痕法还用于纳米膜厚度、微结构，如微梁的刚度与挠度等的测量。
扫描探针声学显微术一般适用于模量范围在1~300 GPa 的材料。对于更软的材料，在测试过程中接触力有可能会对样品造成损害。基于轻敲模式的原子力显微镜多频成像技术是近年来发展的一项纳米力学测试方法。通过同时激励和检测探针多个频率的响应或探针振动的两阶(或多阶) 模态或探针振动的基频和高次谐波成分等，可以实现对被测样品形貌、弹性等性质的快速测量。只要是涉及探针两个及两个以上频率成分的激励和检测，均可以归为多频成像技术。由于轻敲模式下针尖施加的作用力远小于接触状态下的作用力，因此基于轻敲模式的多频成像技术适合于软物质力学性能的测量。纳米力学测试可以帮助研究人员了解纳米材料的力学性能与结构之间的关系，为纳米材料的设计和优化提供指导。
随着科学技术的发展，纳米尺度材料的研究变得越来越重要。纳米尺度材料具有独特的力学性质，与传统材料相比有着许多不同之处。为了深入了解和研究纳米尺度材料的力学性质，科学家们不断开发出各种先进的测试方法。在本文中，我将分享一些纳米尺度下常用的材料力学性质测试方法，研究人员可以根据具体需求选择适合的方法来进行材料力学性质的测试与研究。纳米尺度下力学性质的研究对于深入了解材料的力学行为、提高材料性能以及开发新材料具有重要意义。希望本文所分享的方法能够对相关研究和应用提供一定的指导和帮助。纳米力学测试可用于研究纳米颗粒在胶体、液态等介质中的相互作用行为。广西金属纳米力学测试收费标准
纳米力学测试是一种通过纳米尺度下的力学性质来研究材料特性的方法。广西半导体纳米力学测试实验室
样品制备，纳米力学测试纳米纤维的拉伸测试前需要复杂的样品制备过程，因此FT-NMT03纳米力学测试具备微纳操作的功能，纳米力学测试利用力传感微镊或者微力传感器可以对单根纳米纤维进行五个自由度的拾取-放置操作（闭环）。可以使用聚焦离子束（FIB）沉积或电子束诱导沉积（EBID）对样品进行固定。纳米力学测试这种结合了电-机械测量和纳米加工的技术为大多数纳米力学测试应用提供了完美的解决方案。SEM/FIB集成，得益于FT-NMT03纳米力学测试系统的紧凑尺寸（71×100×35mm），该系统可以与市面上绝大多数的全尺寸SEM/FIB结合使用，在样品台上安装和拆卸该系统十分简便，只需几分钟。此外，由于FT-NMT03纳米力学测试的独特设计（无基座、开放式），纳米力学测试体系统可以和电子背向散射衍射仪（EBSD）和扫描透射电子显微镜（STEM）技术兼容。广西半导体纳米力学测试实验室
