超快超精密晶圆卡盘

微泰拥有激光超精密钻探技术。 随着电子和半导体行业的快速发展，对更小、更精细的微孔的要求越来越高，这使得该行业很难通过机械加工来实现。 自 90 年代后期以来，微泰一直专注于使用激光的微孔领域，并越来越多地寻求 超精密业务。 客户越来越多。 我们将为您提供 25 年的精细钻孔技术，包括使用纳秒激光的超精密钻孔技术，以及使用 飞秒激光的超精密激光技术。纳秒红外激光器套钻系统-功率：50W，脉冲能量：100uJ，频率：100Hz，在利用现有的纳秒激光加工微孔时，由于长激光脉冲产生的热量积累，会在孔周围生成颗粒。出现了表面物性值变形等各种问题。飞秒绿色激光先进的螺旋钻进系统-功率：5W，脉冲能量：13 uJ，频率：100Hz，飞秒激光利用相对较短的激光脉冲，热损伤很小，加工对象没有物性变形层，表面平整，实现超精密微孔加工。本系统的技术是先进的螺旋钻孔技术，采用高速螺旋钻削技术。改变基材成分的超精密加工包括激光熔覆、激光电镀、激光合金化和激光气相沉积等应用。超快超精密晶圆卡盘

微泰凭借 30 年的精密加工技术和锐利刀具的边缘技术，利用激光的微孔加工技术，生产了客户所需的各种产品。除了零件，我们还生产和供应需要装配的部件。与液晶面板（ LCD） 这样的大尺寸元件相比，微泰更倾向于半导体/MLCC/新能源电池等更小、更精密的领域，并且在尚未成功国产化的元件的国产化方面也取得了很大成就。 从塑料树脂系列开始，我们生产和供应的材料几乎与客户提供的所有图纸相符，包括不锈钢、碳化钨、陶瓷和 MMC 材料，没有限制。应用于多个部件其他半导体/高水平平面度的金属板、由微孔构成的金属板、超精密加工件、多数部件组成的设备配件、组装件、半导体/MLCC / 电池行业所需超精密元件。真空卡盘，晶圆卡盘、模组组装治具。倒装芯片键合TOOL。代工超精密精密制造激光束可以聚焦到很小的尺寸，因而特别适合于超精密加工。激光精密加工质量的影响因素少，加工精度高。

微泰利用激光制造和供应超精密零件。从直接用于 MLCC 和半导体生产线的零件到进入该生产线的设施的零件，他们专门生产需要高精度、高公差和几何公差的产品。微泰以 30 年的磨削和成形技术、钻孔技术和激光技术为基础，生产并为各行各业的客户提供各种高质量的精密零件。利用激光进行钻孔、成形、切割和抛光等所有加工，从树脂系列到金属系列，再到陶瓷系列，所有材料的加工都不受限制。 在需要时，要找到能够提供零件和装配组件的合作伙伴并不容易。微泰，始终致力于成为很好的合作伙伴，并满足所有这些条件。应用于1，MLCC吸膜板，2，各种MLCC刀具，刀片。3，MLCC掩模板 阵列遮罩板 。4，测包机分度盘。5，各种MLCC设备精密零件。6，各种喷嘴。7，COF BONDING TOOL（卷带绑定TOOL）。8，倒装芯片键合治具

微泰，主要用于 MLCC 领域，包括垂直刀片、W 后跟切割刀和修剪刀片，以及 PCD 插入芯片断路器，这些断路器采用了原创先进技术。 镜头切割器和刀具C L切割器、TCB 拾取工具、折叠芯片模具、摄像头模组的拾取工具、 我们为整个行业提供一系列高质量的定制和供应工具，包括用于片上薄片的焊接工具。 我们还根据您的环境和需求量身定制了各种工具，并通过缩短时间和极短的套装来创造一系列附加值。我们还通过利用自动化检测功能进行产品管理，通过生产高质量产品来很大程度地提高客户满意度。微泰，凭借 30 年的专业经验和专业知识，21 世纪公司在不同领域提供定制和供应设备和部件，包括 MLCC、半导体和二次电池。 除了 MCT 之外，它还拥有高速加工机床的精密几何加工技术、激光加工和成形技术以及使用 ELID 的超精密磨削技术，可以实现高精度和高质量的多用途和几何产品。 凭借精密加工技术，我们生产的零件包括树脂系列、钢系列、不锈钢、有色金属、硬质合金和陶瓷膜等，质量高，能满足您的使用环境和需求。激光超精密加工可分为四类应用，分别是精密切割、精密焊接、精密打孔和表面处理。

微泰，采用先进的飞秒激光的高速螺旋钻削自主技术，进行产业所需的各种形状的微孔加工，MIN可做到5微米的微孔，公差可做到±2微米，孔距可做到0.3微米。还可以进行MAX10度角的倒锥孔和各种几何形状的微孔，飞秒激光利用相对较短的激光脉冲，热损伤很小，加工对象没有物性变形层，表面平整，实现超精密微孔加工。微泰，利用飞秒激光螺旋钻孔系统和独有ELID（电解在线砂轮修正技术），飞秒激光抛光技术，生产各种超精密零部件。四百四十毫米平面方板，平坦度可以做到5微米以下，表面粗糙度RA达0.1微米以下，可以钻5微米的孔，圆度可以达到95%以上，可以加工不同形状和尺寸的微孔。可以加工多种材料，包括 PCD、 PCBN、陶瓷、硬质合金、不锈钢、热处理钢、钼，我们专注于生产需要高难度、高公叉和高几何公叉的产品，并以 30 年的磨削技术、成型技术、钻孔技术和激光技术为后盾，解决客户的难题，力求客户满意。有问题请联系超精密激光加工属于非接触加工，不会对材料造成机械挤压或应力。热影响区和变形很小，能加工微小的零部件。超快超精密晶圆卡盘

航空及航海工业中导航仪器上特殊精密零件、雷射仪、光学仪器等也会运用超精密加工的技术。超快超精密晶圆卡盘

精密磨削技术-电解在线砂轮修整技术 (ELID)对于精密零件的加工生产，精密磨削技术是必不可少的。在半导体/LCD、MLCC 和新能源电池等领域中，精密元件的使用率很高。常见的磨削技术的问题是，必须根据磨削后的弓形磨损量继续修整，这给保持同等质量带来了困难，因为表面状况会发生细微变化。 简而言之，ELID 磨削技术是一种在不断修整的同时进行抛光的技术。微泰采用了高精度的磨削技术，这些技术都以 ELID 技术和专有技术为基础，在这种技术中，我们生产的产品具有高精度、平坦度和高质量，这是很难生产的。真空板ELID磨削技术ELID 磨削技术（真空板）。利用电解在线砂轮修整技术 (ELID)，提高真空吸附板、刀片的表面粗糙度，减少研磨时的毛刺，减少手动调节提高作业自动化。400mm见方的真空板平面度可达5um。超快超精密晶圆卡盘