进入冷箱内的主换热器3。作为一个推荐实施例,所述氮气从主换热器3冷端抽出后进入一级精馏塔4的***冷凝蒸发器9与液氮混合生成低温氮气,温度为约℃。作为一个推荐实施例,所述氮气从主换热器3中部抽出后进入冷箱内,生成较低温氮气,温度为-70℃。作为一个推荐实施例,所述低温氮气为一级精馏塔4中***冷凝蒸发器9的冷源,其中配比为420n·m3/h,-118℃氮气与200n·m3/h液氮,得到-180℃的低温氮气320n·m3/h。通过本实施例可知,本发明采用液氮和氮气的混合气作为冷源,可稳定的维持各冷凝蒸发器的操作温度,保证精馏的顺利的进行;通过对较高温度氮气的预冷,回收了出主换热器3氮气的冷量,有-35℃,升为-12℃甚至可以更高,液氮使用量有250l/h,降到150l/h(可更低),降幅为40%。产生了巨大的经济效益。通过对氮气的回收循环利用,氪氙精制工艺中的液氮或氮气消耗量会大幅度降低,从而降低了能耗和生产成本。循环氮气量至少占到系统使用的70%以上,液氮节约量至少为70%。实施例2如图1所示,本发明实施例还提供一种氪氙精制中降低液氮使用量的装置,包括:用于氪氙精制的分馏塔2,包括:位于一级精馏塔4塔内,以液氮与氮气混合后得到的低温气体为冷源的***冷凝蒸发器9。一种无色无嗅的稀有气体元素,原子序数10,存在于空气中,按体积计含量约占千分之二。四川液氖气体
已知的氖的同位素共有11种,包括氖-17至氖-27,其中氖-20()、氖-21()、氖-22()是稳定的。氖-21和氖-22是核分裂产物,它们的来源已经很清楚了。氖-20不是核分裂产物,对于其在地球上的丰度的来源有很激烈的争论。导致氖的核反应是镁-24和镁-25的中子发射和α衰变,其产物相应的是氖-21和氖-22。α衰变主要是从铀裂变系列来的,而中子则是α衰变的次级反应。总的来说这个反应系列导致低的氖-20:氖-22比例和在含铀岩石中(比如花岗岩)可以观察到的高的氖-21:氖-22比例。这个同位素是通过镁、钾、硅和铝的衰变导致的。通过对这三个同位素之间的比例的分析可以将宇宙部分的氖与岩浆里的氖和核反应产生的氖区分开来。这说明氖可能可以用来确定岩石和陨石的暴露时间。 四川液氖气体液态相对密度1. 204(-245.9℃)。熔点-248. 67℃,沸点- 245.9℃。临界温度- 228. 66℃,临界压力26.9×105 Pa,。
Gigaphoton限时的eTGM技术也将扩展到G41K系列KrF激光器和GT40A系列ArF激光器。这一扩展计划将于2015年11月启动。通过引进eTGM技术,KrF和ArF激光器可减少25%的氖气用量,ArF浸没式激光器可减少高达50%的氖气用量。加速推出Gigaphoton的气体回收技术hTGM。该技术适用于所有类型的激光器。hTGM预计于2016年上市。采用hTGM技术后,客户将可以回收高达50%的消耗气体。Gigaphoton总裁兼首席执行官HitoshiTomaru表示:“氖气是半导体制造业不可或缺的气体,我们认识到在当前情况下,持续的供应危机是一个极为严重的问题,将会严重威胁生产的连续性。Gigaphoton将尽一切努力来支持客户的稳定生产,为此我们推出了三大措施:为气体供应商提供快速资质认证、大幅减少气体使用及尽早推出气体回收技术。
或者可以是形成不可冷凝气体回收系统100的一部分的单元。在图7和图8的实施方案中,冷凝器-再沸器520、620是双级冷凝器-再沸器,该双级冷凝器-再沸器提供双级别致冷以将来自不可冷凝物汽提塔510、610的大部分塔顶馏出蒸气529、629部分冷凝。图7所示的回流冷凝器-再沸器520被构造成接收来自不可冷凝物汽提塔510的包含氖气和其他不可冷凝物的塔顶馏出气体529、包括从空气分离单元10的氮气过冷器转移来的釜沸腾流的冷凝介质522、以及包括经由经过冷液氮回流流的阀546的节流部分的第二冷凝介质548。该双级回流冷凝器-再沸器520被构造成产生作为回流返回到不可冷凝物汽提塔510的液氮冷凝物流545、被引导至空气分离单元10的氩冷凝器78的双相汽化流525、以及被从冷凝器-再沸器520的顶部抽出并且包含大于约50%摩尔份数的氖气的粗氖蒸气流550。该粗氖蒸气流还可包含大于约10%摩尔份数的氦气。将汽化流549从相分离器544中移除并进料至废物流93中。与其他上述实施方案一样,例示的不可冷凝气体回收系统的总体氖气回收率高于95%。所描绘的不可冷凝气体回收系统的附加有益效果是液氮消耗低,并且由于大量液氮被再循环回到低压塔。使用液化氖气时,要注意防止皮肤和眼睛接触,因为液化氖气的低温会引起组织不适。
光刻光源制造商Gigaphoton,Inc.宣布推出“氖气救援计划”。该综合性方案包括以下三项措施:为新的气体供应商提供快速资质认证;限时使用Gigaphoton的eTGM技术以减少氖气使用;加速推出公司的气体回收技术hTGM。“氖气救援计划”由Gigaphoton制定,用于立即帮助客户应对氖气供应和成本方面日益严峻的挑战,这对维持稳定的高产环境至关重要。氖气是激光器中氩气(Ar)和氪气(Kr)的缓冲气体,用于半导体的制造。目前乌克兰是氖气的主要生产国,但由于国内危机持续不断,氖气供应减少已成为一个突出问题且正在引起人们的普遍担忧。担忧的原因不仅在于氖气价格上涨,也包括2015年开始的供应短缺问题。对于作为全球氖气主要消费者的半导体行业而言,这是一个严峻的局面。为应对这次危机,Gigaphoton早在2011年11月便宣布为所有新的和现有的GT系列ArF浸没式激光器提供eTGM技术的限时使用。“氖气救援计划”在此基础上提供了比较好的方案,内容包括:为客户要求的新气体供应商提供快速的资质认证方案。以前,新气体供应商需要六至十二个月才能完成测试和资质认证。但现在根据新方案,客户比快只需一个月时间便可使用新的气体供应商。氖一般用玻璃瓶或钢瓶贮装。重庆氖气体
氖气主要用于填充各种荧光灯、发光信号装置和辉光灯等。四川液氖气体
2)由原子构成的物质(以Cu为例)宏观:表示该物质:铜表示该物质由什么元素组成:铜由铜元素组成微观:表示该物质的一个原子—一个铜原子。化学式和化合价的关系:(1)根据化学式求化合价①已知物质的化学式,根据化合价中各元素的正负化合价代数和为0的原则确定元素的化合价。标出已知、未知化合价:列出式子求解:(+1)×2+x×1+(-2)×3=0x=+4②根据化合价原则,判断化学式的正误,如判断化学式KCO3是否正确标出元素或原子团的化合价计算正负化合价代数和是否为0:(+1)×1+(-2)×1=-1≠0,所以给出的化学式是错误的,正确的为K2CO3。③根据化合价原则,计算原子团中某元素的化合价,如计算NH4+中氮元素的化合价和H2PO4-(磷酸二氢根)中磷元素的化合价。由于NH4+带一个单位的正电荷,不是电中性的,因此各元素的化合价代数和不为多,而是等于+1.设氮元素的化合价为xx+(+1)×4=+1x=-3所以在NH4+中,氮元素的化合价为-3.同理H2PO4-带一个单位的负电荷、不是电中性的、因此各元素的化合价代数和不为零,而是-1.设磷元素的化合价为y(+1)×2+y+(-2)×4=-1y=+5所以在H2PO4-中磷元素的化合价为+5.④根据化合价原则,确定物质按化合价的排序。如H2S,S,SO2。四川液氖气体