江西实验室环境检测认真负责

①静态测试时室内的测试人员不得多于2人测试报告中应标明测试时所采用的状态；②对于单向流测试应在净化空气调节系统正常运行时间不少于10min后开始非单向流要不少于30min后开始；③必须按照仪器的检定周期定期对仪器作检定。视仪器本身特点、使用频率、使用环境等决定；④每个采样点可按所计算确定的**小采样量采样空气。但一般根据所使用的粒子计数器的采样量及时间设定通常实际采样都可能高于**小采样量。⑤测定时，进入洁净室的人员要穿洁净服有风淋室要经过风淋室，在室内尽量处于下风处并静止少动。抽样对有设计要求的区域进行检测。江西实验室环境检测认真负责

（1）将所有的门关闭，将测定用胶管口径比较好在5mm以下从墙壁上的孔洞伸入室内在离壁面不远处，垂直于气流方向设置周围无阻挡气流扰动**小。（2）静压差的测定应从平面上**里面的房间，通常也就是洁净度级别比较高的房间，与其紧邻的房间之间的压差测起依次向外测定，直至测得**靠外的洁净室与周围附属环境之间、与室外环境之间的压差。（3）对于洁净度高于5级的单向流层流洁净室，还应测定在门开启状态下离门口0.6m处的室内侧工作面高度的粒子数。浙江排风柜检测认真负责安装验证和操作验证完成并进行确认工作后即进行性能验证。

洁净室的主要作用是控制产品(如硅片等)所接触的大气的洁净室洁净度和温湿度，使产品能够在良好的环境空间中生产制造，从而我们称之为洁净室。按照国际惯例，无尘净化等级主要是根据空气中每立方米直径大于分类标准的颗粒数量来规定的。也就是说，所谓的无尘，并不是100%没有一点灰尘，而是控制在极少量的单位。当然，这个标准中符合粉尘标准的颗粒物，相对于我们常见的粉尘来说是非常小的，但是对于光学结构来说，哪怕是一点点的粉尘也会产生非常大的负面影响

①静态测试时室内的测试人员不得多于 2 人测试报告中应标明测试时所采用的状态；②对于单向流测试应在净化空气调节系统正常运行时间不少于 10min 后开始非单向流要不少于 30min 后开始；③必须按照仪器的检定周期定期对仪器作检定。视仪器本身特点、使用频率、使用环境等决定；④每个采样点可按所计算确定的**小采样量采样空气。但一般根据所使用的粒子计数器的采样量及时间设定通常实际采样都可能高于**小采样量。⑤测定时，进入洁净室的人员要穿洁净服有风淋室要经过风淋室，在室内尽量处于下风处并静止少动。动态设施处于按规定方式运行的状态并有规定的人员在场以规定的方式工作。

人们认为这种单向、平行的气流应该充满整个洁净室，但这在技术和经济上都是不利的。随着知识的发展，人们指出这种单向流动只是“意味着所有的空气在有限的区域内沿着平行的流线匀速流动”，相信涡流的发生可以被尽可能的抑制。尽可能。以通过整个空间的洁净空气的单向流动特性为主的房间也称为单向流动洁净室。也就是说，不需要在整个房间内有单向平行流线、匀速、无涡流，而只需要单向平行流特性来支配房间，例如 整个工作区水平空间保证单向流动，本房间为单向流动洁净室。前面介绍的国内外相关标准和措施中单向流洁净室所达到的高洁净度是指工作区域所达到的洁净度。因此，密集布置的流线型扩压器顶部进料和全孔板顶部进料也被用作实现垂直单向流动的手段。按气流组织分类，洁净室可分为三类：单向流、层流、洁净室。浙江排风柜检测认真负责

空气洁净度的具体高低则是用空气洁净度级别来区分的，而这种级别又是用操作时间空气的计数含尘浓度来表示。江西实验室环境检测认真负责

（1）检测前，被测洁净室的运行状态必须在正常状态，其温度、湿度、风量、风压及风速必须在控制的规定值内；被测试的洁净室（区）应已进行过消毒；同时，洁净室的测试状态必须符合生产工艺的要求，并在测试报告中注明其测试状态（空态、静态、动态）。（2）测试人员必须穿戴洁净服，而且一般不得超过两个人。（3）净化空调系统正常运转时间对单向流如5 级（100 级）洁净室或层流工作台不得少于10min；对非单向流如7 级（10000 级）、8 级（100000 级）的洁净室不得少于30min。江西实验室环境检测认真负责