布鲁克斯流量控制器说明书

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美国MKS控制器产品技术数据①比较大工作出口压力：200托②比较大允许出口压差：50托（Q1和Q2之间）③正常工作压差：<150托（对于10000/10000，<450托）（N2）④证明压力：1000磅/平方英寸⑤爆破压力：1500磅/平方英寸⑥输入流量范围：每个通道的5到100%满量程额定值（N2等效）⑦比率控制范围：1:1到20:1和20:1到1:1⑧比率精度：比率设定点的2%⑨典型精度：比率设定点的0.3%⑩比率重复性和再现性：通道满量程的0.02%⑪零温度系数：0.05%满量程/°C⑫跨度温度系数：0.08%读数/°C⑬热身时间：30分钟⑭工作温度：10至40°C6、美国MKS控制器产品部分型号①美国MKS控制器DELTA™IV4②美国MKS控制器DELTA™II③美国MKS控制器DLT2A2④美国MKS控制器DLT2B⑤美国MKS控制器DLT2A1⑥美国MKS控制器DLT3B⑦美国MKS控制器DLTNA3F-203AI-M50-AGD-55-V,12600ln/min BRONKHORST流量控制器 F-201CV-5K0-AGD-22-V 美AALBORG流量控制器 GFC37.

FF-M1x紧凑型气体质量流量计集成气体转换模块22种气体嵌入多参数输出：质量流量、温度和压力USB-C和蓝牙通信Namur NE107状态指示样册下载 产品列表小流量气体质量流量计FLEXI-FLOW Compact FF-M10 和 FF-M11紧凑型气体质量流量计适用于工作压力在真空和17 bar(a)条件下准确测量0…500 mln/min 和 0…20 ln/min之间的流量。仪表结合基于毛细管MEMS技术快速稳定的热式质量流量传感器和可靠准确的旁路结构。基于TCS技术，建立准确的质量流量测量，不受温度和管路压力变化影响。与集成温度和上下游压力传感器相结合，22种气体的嵌入式数据库实现精细集成转换。多参数仪表可提供过程信息：FF-M10：流量+温度FF-M11：流量+温度+上下游压力德国EGE流量控制器，STK421S-A4，SZA400Ex-24，IGMF76539，SC440-A4-GSP，SKZ400WR-230，SN450/1-A4-WR2.秦皇岛小岛流量控制器

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