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Buffered Oxide Etch，BOE就是buffer oxide etch， B.O.E 缓冲蚀刻液 BOE是HF与NH4F依不同比例混合而成。6:1 BOE蚀刻即表示49%HF水溶液：40%NH4F水溶液=1：6（体积比）的成分混合而成。刻蚀速度约10nm每秒。HF为主要的蚀刻液，NH4F则作为缓冲剂使用。利用NH4F固定〔H+〕的浓度，使之保持一定的蚀刻率。HF会浸蚀玻璃及任何含硅石的物质，对皮肤有强烈的腐蚀性，不小心被溅到，应用大量水冲洗。

BOE（Buffered Oxide Etch），缓冲氧化物刻蚀液。由氢氟酸（49%）与水或氟化铵与水混合而成。

离子膜电解法是电解槽30阳极可以为石墨板或钛阳极板，阴极为钛板，用离子膜将阳极液和阴极液隔离开，阳极为需要再生的蚀刻母液，阴极为铜离子20~100g/l，酸度，电解槽30由数个单元电解槽串联组成，单元电解槽30由一个或者数个阳极模框组成，酸性蚀刻废液经循环槽20阳极循环区229进入电解阳极区301，溢流回循环槽20蚀刻循环区230。调整好循环槽20的阴极循环区231的开槽铜离子浓度20~100g/l，经电解槽30阴极然后溢流回循环槽20阴极循环区231完成正常循环，电解过程中阴极钛板生成金属铜，一定时间后铜可以剥离下来，剩下的废水成为再生液，再生液因电解使铜离子浓度越来越低，酸度上升，同时比重下降时，通过比重自动添加器添加母液来提高再生液铜离子的浓度。天马微电子用的哪家的BOE蚀刻液？

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