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  (三)洁净室控管之项目

  1. 能除去空气中飘游之微尘粒子。

  2. 能防止微尘粒子之产生。

  3. 温度和湿度之控制。

  4. 压力之调节。

  5. 有害气体之排除。

  6. 结构物与隔间之气密性。

  7. 静电之防制。

  8. 电磁干扰预防。

  9. 安全因素之考虑。

  10. 节能之考量。

  (四)洁净室之分类

  1.乱流式

  空气由空调箱经风管与洁净室内之空气过滤器(HEPA)进入洁净室，并由洁净室两侧隔间墙板或高架地板回风。气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状态。此型式适用于洁净室等级1,000-100,000级。

  优点：构造简单、系统建造成本，洁净室之扩充比较容易，在某些特殊用途场所，可并用无尘工作台，提高洁净室等级。

  缺点：乱流造成的微尘粒子于室内空间飘浮不易排出，易污染制程产品。另外若系统停止运转再运行，欲达需求之洁净度，往往须耗时相当长一段时间。

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 复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，可提供局部超洁净之空气。

  (1)洁净隧道(Clean Tunnel)：以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域100%覆盖使洁净度等级提高至10级以上，可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离，以避免机器维修时影响了工作及品质，ULSI制程大都采用此种型式。

  洁净隧道另有二项优点：A.弹性扩充容易; B.维修设备时可在维修区轻易执行。

  (2)洁净管道(Clean Tube)：将产品流程经过的自动生产线包围并净化处理，将洁净度等级提至100级以上。因产品和作业员及发尘环境相互隔离，少量之送风即可得到良好之洁净度，可节省能源，不需人工的自动化生产线为适宜使用。药品、食品业界及半导体业界均适用。

  (3)并装局部洁净室(Clean Spot)：将洁净室等级10,000~100,000之乱流洁净室内之产品制程区的洁净度等级提高为10~1000级以上，以为生产之用;洁净工作台、洁净工作棚、洁净风柜即属此类。

广东洁净室检测服务至上对于来流的洁净度，对通过高效以上过滤器送风的单向流洁净室来说是不成问题的。

洁净室里人员的要求

洁净室工作的人员要定期接受污染控制理论培训。他们通过气闸，空气淋浴器和/或更衣室进出洁净室，他们必须穿专门设计的衣服，包裹住皮肤和身体自然产生的污染物。

根据洁净室的分类或功能，工作人员的着装可能只需实验服和头套简单防护，也可能完全包裹的不暴露任何皮肤的全身防护。

洁净服是用来防止颗粒和或微生物从穿着者的身体释放和污染环境。洁净服本身不得释放颗粒或纤维，以防止污染环境。这种类型的人员污染可以降低半导体和制药工业中的产品性能，并且它可以导致例如医疗保健行业中的医务人员和患者之间的交叉污染。

洁净防护装备包括防护服、靴子，鞋子，围裙，胡须套，圆帽，口罩，工装/实验服，长袍，手套和指套，袖套和鞋、靴套。所用洁净服的类型应反映洁净室和产品类别。低级别的洁净室可能需要特殊的鞋，鞋底完全光滑，不会站上灰尘或污垢。但是考虑到安全原因，鞋底又不能造成滑倒的危险。进入洁净室通常都需要穿洁净服。10,000级洁净室可以使用简单的实验服，头套和鞋套。对于100级洁净室，需要全身包裹，带拉链的防护服、护目镜、口罩、手套和靴套。

此外还要控制洁净室内人员的数量，平均4～6m2/人，操作要轻缓，避免大幅度和快速移动。

用风罩法测量风量①用风量罩测定各风口风速时，其相应的出风风速为Vs=As。Vs------各终端过滤器或送风散流器的平均送风风速m/s；Qs------各终端过滤器或送风散流器的送风量m3/s；As------送风口出风面积m2。②单向流-层流洁净室单向流洁净室采用室截面平均风速和截面积乘积的方法确定送风量，其中垂直单向流层流洁净室的测定截面取距地面0.8m的水平截面，水平单向流层流洁净室取距送风面0.5m的垂直截面，截面上测点间距不应大于2m，测点数应不少于10个，均匀布置仪器用热球风速仪。③测定风管内风量对于风口上风侧有较长的支管段，且已经或可以打孔时，可以用风管法确定风量，测定断面距局部阻力部件距离在局部阻力部件后不少于5倍管径或5倍大边长度。对于矩形风管，将测定截面分成若干个相等的小截面，每个小截面尽可能接近正方形边长，不大于200mm测点，设于小截面中心，但整个截面上的测点数不宜少于3个。对于圆形风管，应该按等面积圆环法划分测定截面和确定测点数。具体可按综合效能普通通风空调风管法测量风量的方法进行。技术实力：全国多家自建实验室分支，检测更便捷。

《电子工业洁净厂房设计规范》(GB50472-2008)。本标准“附录D洁净室(区)性能测试和认证”的要点:1)风速和风量的检测。对于单向流洁净室，检测平面应取离高效过滤器300mm垂直于气流的截面。2)静压差的检测。检测静压差的时候应该关闭全部门窗。检测仪器的灵敏度应小于1.0Pa。有多个洁净室时，应由里向外按顺序检测。3)空气过滤器安装后的检漏。光学粒子计数器的采样量应大于1L/min。应在过滤器的上风侧引人不小于0.1um(0.5μm)的粒子，其浓度应大于3.5x10pc/m。微粒仪距离滤器表面20~30mm处等速采样，并以5~20mm/s速度移动。4)洁净度的检测。少采样点和每次少采样量与ISO14644基本相同。5)温度和湿度的检测。检测点的覆盖面积不大于100m2。每个房间不少于2个检测点。检测点应设在洁净室工作高度，且距吊顶、墙和地面不少于300mm。6)噪声的检测。每100m2设1个检测点。检测点距地面1.1~1.5m，距墙大于3m。7)照度的检测。检测点应设在洁净室工作高度，宜距地面0.85m,每25m2设1个检测点。它不仅对室内空气的温度、湿度、风速有一定要求，而且对空气中的含尘粒数、细菌浓度等均有较高的要求。北京排风柜检测哪家好

抽样对有设计要求的区域进行检测。安徽实验室环境检测认真负责

洁净手术部的建筑装饰应遵循不产尘、不积尘、耐腐蚀、防潮防霉、容易清洁和负荷防火要求的总原则。

洁净手术部内地面应平整，采用耐磨、防滑、耐腐蚀、易清洗、不易起尘与不开裂的材料制作。有特殊要求的，可采用有特殊性能的涂料地面。

洁净手术部内部墙面应使用不易开裂、阻燃、易清洗与耐碰撞的材料，墙面必须平整，防潮防霉，Ⅰ、Ⅱ级洁净室墙面可用整体或装配式壁板；Ⅲ、Ⅳ级洁净室墙面也可用大块瓷砖或涂料，缝隙均应抹平。

洁净手术部内墙面下部的踢脚必须与墙面齐平或凹于墙面；踢脚必须与地面成一整体；踢脚与地面交界处的阴角必须做成R≥40mm 的圆角。其他墙体交界处的阴角宜做成小圆角。

洁净手术部内墙体转角和门的竖向侧边的阳角应为圆角。通道两侧及转角处墙上应设防撞板。

室内与空气直接接触的外露材料不得使用木材和石膏。

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