南昌铝合金真空腔体设计

在科技飞速发展的现在，很多科学仪器与设备都需要在一定的真空环境下工作，真空腔体为敏感的元器件提供真空环境，保证其正常工作，因此，真空腔体的设计成为了整个真空系统设计非常重要的部分。现有的高真空度真空腔体设计形状多种多样，材料以不锈钢、铝合金、钛合金为主。铝合金重量轻、加工成本低，但由于其质地较软无法使用刀口密封方式，只能使用橡胶圈密封的方式;铝合金材质的真空腔体优点是拆装方便，不足之处是只能使用橡胶圈密封，密封方式单一，铝合金材质和橡胶圈都有很大的放气率，温度适应性差，无法使用熔融焊工艺，因此适用范围窄。钛合金重量轻但加工成本高，焊接难度大、焊接方式受限，无法用于方形真空腔体加工。不锈钢材料出气率低、机械性能好，并且熔融焊接性能好，加工成本低，在高真空度真空腔体设计中被普遍应用。在航空航天领域中，真空技术也有着普遍的应用。南昌铝合金真空腔体设计

真空腔体几种表面处理方法：

化学抛光：化学抛光是让材料在化学介质中表面微观凸出的部分较凹部分优先溶解，从而得到平滑面。这种方法的主要优点是不需复杂设备，可以抛光形状复杂的工件,可以同时抛光很多工件，效率高。化学抛光的问题是抛光液的配制。化学抛光得到的表面粗糙度一般为数10μm。

电解抛光：电解抛光基本原理与化学抛光相同,即靠选择性的溶解材料表面微小凸出部分，使表面光滑。与化学抛光相比，可以消除阴极反应的影响，效果较好。

电化学抛光过程分为两步：（1）宏观整平溶解产物向电解液中扩散，材料表面几何粗糙下降，Ra>1μm。（2）微光平整阳极极化，表面光亮度提高，Ra＜1μm。 贵阳铝合金真空腔体加工真空腔体的内壁表面吸附大量的气体分子或其他有机物，成为影响真空度的放气源。

腔体的基本组成及密封方式：腔体即有物理或化学反应的容器，通过对容器的结构设计与参数配置，实现工艺要求的加热、蒸发、冷却及低高速的混配功能。普遍应用于石油、化工、橡胶、农药、染料、医药和食品等领域，是用来完成硫化、硝化、氢化、烃化、聚合、缩合等工艺过程的压力容器。腔体由腔体、釜盖、夹套、搅拌器、传动装置、轴封装置、支承等组成。搅拌装置在高径比较大时，可用多层搅拌桨叶，也可根据用户的要求任意选配。釜壁外设置夹套，或在器内设置换热面，也可通过外循环进行换热。支承座有支承式或耳式支座等。转速大于160转以上宜使用齿轮减速机。

开孔数量、规格或其它要求可根据用户要求设计、制作。

1、通常在常压或低压条件下采用填料密封，一般使用压力小于2公斤。

2、在一般中等压力或抽真空情况会采用机械密封，一般压力为负压或4公斤。

3、腔体在高压或介质挥发性高得情况下会采用磁力密封，一般压力大于14公斤以上。除了磁力密封均采用水降温外，其他密封形式在大于120度以上会增加冷却水套。

真空腔体进行检漏工作：

真空腔体检漏主要有三种：氦质谱检漏，真空封泥检测法，真空计检漏法。

氦质谱检漏是一项很重要的技能，因检漏效率高，操作简单，仪器反应灵敏，精度高，不容易受到其他气体干扰，在真空腔体检漏中得到了很多应用。氦质谱检漏仪是根据质谱学原理，用氦气作示漏气体制成的气密性检测仪器。由分析器、离子源、分析器、冷阴极电离规、收集器组成的质谱室和抽气系统及电气等部分组成。质谱室里的灯丝发射出来的电子，在室内来回地振荡，并与室内气体和经漏孔进人室内的氦气相互碰撞使其电离成正离子，这些氦离子在加速电场作用下进入磁场，在洛伦兹力的作用下偏转，进而形成了圆弧形轨道，改变加速电压可使不同离子通过磁场和接收缝到达接收极而被检测到。其中，喷氦法和吸氦法是真空腔体氦质谱检漏常用的两种方法。 真空腔体在真空系统中可以控制真空度和气体流动，同时保护其他组件免受外部环境的干扰。

铝合金真空腔体主要应用于半导体行业，尤其是等离子清洗急和蚀刻机。等离子清洗机腔体已在行业内应用颇多，等离子清洗机较多应用于LCD贴片、LED封装、集成电路元器件封装、IC封装、工程塑料和特种硬质材料表面处理等工艺。

上海畅桥真空系统制造有限公司成立于2011年，是专业生产铝合金真空腔体的厂家，性价比良好，产品外观、可靠性和泄漏率等性能优于传统方式，获得客户一致认可。针对客户要求的定制的等离子清洗机腔体，我们已通过ISO9001质量管理体系的认证，将一如既往地发挥我们的技术和市场优势，努力打造优良的专业团队，实现合作共赢。

有全自动数控加工中心龙门铣等各种设备，可加工真空腔体连续线.主要产品:非标铝合金真空腔体，半导体真空腔体，镀膜机腔体，不锈钢真空腔体加工，真空炉体，PVD系列镀膜机腔体，腔体配套真空管道等系列真空产品，专业定做非标高真空，超高真空腔体，不锈钢真空腔体加工，铝合金真空腔体的品质获得并通过ISO-9001质量标准体系认证。所有产品均经过严格尺寸及氦质谱检漏仪真空检测出厂，并附完整的检测报告，产品被用于半导体、科研、核电、镀膜、真空炉业、能源、医药、冶金、化工等诸多行业。 跟着真空取得技能的发展，真空使用日渐扩大到工业和利学研究的各个方面。长沙铝合金真空腔体定制

真空腔体由腔体、釜盖、夹套、搅拌器、传动装置、轴封装置、支承等组成。南昌铝合金真空腔体设计

真空腔体在真空系统中的作用：真空腔体在真空系统中扮演了非常重要的作用。它是真空系统中的重要部件之一，可以控制真空度和气体流动，同时保护其他组件免受外部环境的干扰。真空腔体在真空系统中的作用。

控制温度：真空腔体还可以通过特定的漏斗结构控制温度，在一些极低温度的研究中，需要把组件放在低温环境下，这就需要真空腔体设有特定的结构，例如液氮漏斗，以便将温度降低到极低。

保护其他组件：真空腔体可以保护其他组件免受外部环境的影响。例如，在一些颗粒加速露研究中，需要在真空中加速粒子，那么高真空环境就必不可少。其他组件无法承受这样的高真空环境，因此真空腔体可以保护这些组件免受伤害。

自动化：真空腔体在一些自动化设备中起着至关重要的作用。例如，在激光切割机中，需要把被切割物料置于高真空环境中，然后才能进行切割。

这一过程需要自动化，由真空泵和真空腔体来实现。总之，真空腔体在真空系统中扮演了非常重要的角色。它们不仅可以维持系统内部的稳定真空度，还可以将不同的组件连接起来，分离气体，控制温度和保护其他组件。真空腔体的使用，使得实验室研究和工业生产更加高效，并且质量更加稳定。 南昌铝合金真空腔体设计

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