AVI单元和传感器的方向隔离单元和LFS传感器必须正确安装，这一点很重要取向！LFS控制单元上的每个D-Sub15插座都有4个对应于AVI的开关输出以任意4个矩形方向（即平行或成直角）放置的元素。不允许其他方向。为确保连接正确，请按照下列步骤操作：面向LFS传感器的蓝色LED站立。将弟一个AVI元素连接到以下任意一个后面板上的12个D-Sub15插座。用笔滑动开关在位置A和D之间。所有AVI元素必须连接到LFS单元上的插槽。正确的开关位置对于获得良好的性能至关重要隔离。使用D-Sub 15M-F电缆将T-Box连接到TS的背面。无需单独的电源。通过模式开关可以选择不同的激励方向。半导体隔振台特点
TS-150支撑面测试:尽管这些系统几乎可以在任何支撑面上运行，但采用软支撑结构共振放大某些建筑物的振动频率，因此这些振动频率会降低隔离的。您可以通过观察诊断信号来了解支持结构的适用性同时推动支持。此测试应禁用隔离。如果支撑是刚性的信号几乎不应响应任何方向对支撑的推动。现在尝试点击支持激发其内部共鸣。通常，支架会对水平隆头产生更强烈的反应而不是垂直的。一个非常共振的支撑将显示长寿命的共振，并且隔离将在这些频率上受到严重影响。更好的支撑将显示出良好的阻尼共振。AVI隔振台可以免税吗励磁箱允许将激励信号施加到TS隔离系统，以便该系统可以在任何方向上用作振动器。
传感器位置传感器可以移动到任何期望的位置。它可能位于负载下方或外部，但必须位于支持AVI元素的同一表面上。制作后连接时，传感器与AVI单元的方向必须保持不变。支撑面的刚性支撑表面的刚性很重要。水平传感器无法区分在水平加速度和倾斜之间。LFS和因此，AVI元素所在的位置必须尽可能坚硬，以使其不会明显倾斜当人们在附近移动时。倾斜会导致传感器输出饱和并失去隔离。运作方式设置好并将电源连接到传感器后，就可以使用系统了。按下电源上的电源旋钮打开电源。绿色LED将点亮。红色LED开始闪烁，这意味着存在一些振动。现在，您可以通过按启用按钮来启用系统。红色LED不应点亮了。如果它们点亮，则表示系统过载且振动建筑物中存在的物体太严重。请注意，如果未启用LFS，则它将无效。敏感的传感器单元，请勿撞击，敲打或跌落！
1.更换SEM侧面板（如有必要）。检查隔离系统和SEM的所有电缆是否松动连接。检查并确保没有将SEM耦合到地面或其他振动源。2.将电源线插入控制器背面。翻转前面板上的“ON”开关。按红色按钮启用活动隔离。3.几秒钟后，使能LED指示灯将变稳定，指示系统已正确隔离。轻轻敲击SEM时，控制器上的红灯应短暂点亮然后熄灭。4.如果一个或多个指示灯持续亮起，或者在正常情况下指示灯不熄灭，或者如果点击不亮，则表明传感器过载。请仔细检查以下内容：没有任何东西触及模块，连接模块和SEM的所有电缆均松弛，并且已针对负载适当调整了模块。从低频率起提高一个隔振环境。
LFS控制单元上的每个D-Sub15插座都有4个对应于AVI元件的开关输出，这些AVI元件以任意4个矩形方向（即平行或直角）放置，不允许其他方向。面向LFS传感器的蓝色LED直立。将弟一个AVI元件连接到后面板上的12个D-Sub15插座中的任何一个。使用笔在位置A和D之间滑动开关。传感器的位置:传感器可以移动到任何所需位置。它可能位于负载下方或外部，但必须位于支持AVI元件的同一表面上。连接后，传感器与AVI单元的方向必须保持不变。支承面刚度:支承面的刚度很重要。水平传感器无法区分水平加速度和倾斜。因此，LFS和AVI元件所在的支承面必须尽可能坚硬，以便在附近移动时不会明显倾斜。倾斜将导致传感器输出饱和，隔离将失效。简单，用户友好的处理概念-避免在安装过程中进行复杂的过程。主动减振台隔振台有哪些品牌
安装好后参数不需要调整。半导体隔振台特点
1、使用2mm内六角扳手（包括在内）拆下模块端板。2、根据扫描电镜的重量调整模块。在每个中心柱上的横梁上方和下方应该有一个间隙，允许每侧大约有2mm的行程。B、使用M6活动扳手（包括）转动位于支撑弹簧顶部的调整螺母。向右转动扳手可降低模块并增加上部间隙（在中间止动螺母和横撑之间）。向左转动扳手可升高模块并减小上部间隙。C、计算每个螺母的圈数；尽可能均匀地调整所有螺母。并非所有中心柱上的间隙都完全相同。D、不要转动螺母太远，否则可能损坏系统。在任何情况下，外露螺纹不得超过10mm3.装回模块上的端板半导体隔振台特点
岱美仪器技术服务（上海）有限公司是以提供半导体工艺设备，半导体测量设备，光刻机 键合机，膜厚测量仪内的多项综合服务，为消费者多方位提供半导体工艺设备，半导体测量设备，光刻机 键合机，膜厚测量仪，公司成立于2002-02-07，旗下EVG,Filmetrics,MicroSense,Herz,Film Sense,Polyteknik,4D,Nanotronics,Subnano,Bruker,FSM,SHB,ThetaMetrisi，已经具有一定的业内水平。公司承担并建设完成仪器仪表多项重点项目，取得了明显的社会和经济效益。多年来，已经为我国仪器仪表行业生产、经济等的发展做出了重要贡献。
