激光干涉位移传感器激光干涉仪：超精密皮米位移传感器可实时测量位移、运动和振动，并具有10MHz的数据带宽。一个控制器可连接三个传感测头。
认证精度稳定的激光源可确保在纳米范围内获得认证的重复性和准确性。PTB(德国联邦物理技术研究院)已正式测试井证明了lDS3010的高精度。此外，每个IDS3010都是NIST可追踪的。大距离范围IDS3010够进行从几毫米到30m的动态位移测量。高达10Mhz的高带宽,即使在远距离情况下也可以进行振动检测。紧凑和模块设计IDS3010控制器和传感器头的基于光纤的微型化设计允许集成到空间受限的系统中。它的模块化使更换和重新安排变得容易。真空兼容传感头和光纤甚至可以在极端环境下工作，例如高真空，超高真空，低温或辐射恶劣的环境。 马波斯测量科技为您提供专业的光谱共焦传感器，有想法的可以来电咨询！Marposs 传感器解决方案
多个产品同时测量减少成本测量对象可任意摆放，多个产品可同时测量，**节省测量时间，减少用工成本！
低畸变图像无变形即便在镜头边缘部位测量，图像畸变也很小，无需担心测量对象所放位置。缺陷过滤测量位置包含有毛边或缺陷时系统能自动识别，排除异常点提高测量的准确度。数据追溯管理更简单测量结果自动保存，可按测量日期、产品名称、产品料号等信息搜索，数据追溯管理简单
优势：测量更准确采用双倍率双侧远心光学镜头，具有较高的远心度，即使有段差情况下也能高精度正确的测量。倍率涵盖0.16X大视野/0.7X高精度。 山西点光谱共焦传感器厂家马波斯测量科技致力于提供专业的光谱共焦传感器，有想法的不要错过哦！
ENITH控制器采用比较高质量标准制造，是一款坚固可靠的产品，可满足车间环境（如实验室）中**苛刻的应用，是工业环境中光谱共焦控制器的全新选择。ZENITH控制器的柔性测量，可以将被测产品造成损害的可能性降低到零。基于以太网通讯，ZENITH可以在非接触的情况下实现高精度的测量，而不会对被测产品造成任何损坏。
ZENITH框架紧凑，结构稳固，专为7天24小时全天候使用而设计。2ZENITH能够在各种类型的材料和物体表面进行超高分辨率的距离和厚度测量，包括各种反射性材料。3高频率采样是 ZENITH 与编码器（**多 5 个）结合用于外部测量同步的动态应用的理想选择之一。4ZENITH的控制器可兼容所有MARPOSS STIL光学笔：CL-MG、OP、ENDO和EVEREST，实现达纳米级精度的计量表现。
光谱共焦传感器可以测量几乎任何类型的材料（玻璃，陶瓷，塑料，半导体，金属，织物，纸张，皮革等）制成的样品。它们可以测量抛光表面（镜子，镜片，晶圆）以及粗糙表面。
光斑尺寸、比较大采样斜率、工作距离和测量范围，分别是什么概念
比较大采样斜率（M，简称MSS），是光轴和样品表面法线之间的比较大角度，在此角度条件下测量依然可行。MSS是测量点处的实际局部斜率，而非理论上“平均曲面”的斜率。此功能*对镜面(镜面状)表面有重要意义；对散射表面，比较大采样斜率更高。对于所有类型的采样，采集信号的强度都随着倾斜角度的增加而减小。光斑尺寸(Spotsize)，指光点的理论尺寸，即光斑的大小。工作距离(WorkingDistance)，光学笔前端到量程近端的距离。测量范围(MeasuringRange，简称MR)，0到比较大可量测值的区间范围。又叫测量行程。 马波斯测量科技致力于提供专业的光谱共焦传感器，有需要可以联系我司哦！
什么是光谱共焦干涉仪？非接触式轮廓测量技术中的测量精度，通常受机械振动和微扫描台位置不准确的限制。为不再受此类环境干扰，开发了对振动不敏感的全新干涉测量法。采用这种新型干涉仪系统，干涉仪显微镜的精度可达亚纳米级。
光谱共焦干涉测量原理干涉测量法基于白光干涉图（SAWLI）的光谱分析。它包括分析在光谱仪上观察到的干扰信号，以便测量参比板和样品之间的气隙厚度。成熟系统的**性在于将参考板固定在检测目标上。由于参考板和样品固定在一起，机械振动不会影响测量结果。此外，该传感器可用于测量太薄而不允许使用光谱共焦技术的透明薄膜。**小可测厚度为0.4μm。 汽车挡风玻璃质量控制, 大工作距离和大景深的点传感器适用于车间环境，对3D形状、轮廓、HUD的多层厚度测量。Marposs 传感器解决方案
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非接触式晶圆厚度测量系统非接触式晶圆厚度测量系统是一种利用气体动静压原理工作的非接触式轴承，由于工作在平面度较好的花岗岩表面，因此本身也能获得非常理想的运动平面度及平顺性，特别适用于高精度检测以及超精加工领域。
对射式非接触式同轴激光位移传感器测量•直线电机高精度龙门运动机构•兼容抛光、未抛光、透明及非透明晶圆测量•共面气浮移动轴承确保样品的移动获得极高的平面度及平顺性•兼容1-8英寸规格晶圆样品(可扩展至300mm12英寸产品)•晶圆的测量厚度范围为10um-20mm•抗震式花岗岩底座及高隔振一体式机架•比较大扫描速度1m/s•可自定义生成快速便捷的自动化测量模式•直观简单的2D或3D数据呈现方式•适用于厚度,TTV,LTV,TIR,Sori,Taper,Bow和Warp测量参数及标准 Marposs 传感器解决方案
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