湖州激光打孔微孔加工

激光LIGA 技术

它采用准分子激光深层刻蚀代替载射线光刻，从而避开了高精密的载射线掩膜制作、套刻对准等技术难题，同时激光光源的经济性和使用的普遍性明显优于同步辐射载光源，从而有效降低 LIGA 工艺的制造成本，使LIGA技术得以广泛应用。尽管激光LIGA 技术在加工微构件高径比方面比载射线差，但对于一般的微构件加工完全可以接受。此外，激光LIGA 工艺不像载射线光刻需要化学腐蚀显影，而是“直写”刻蚀，不存在化学腐蚀的横向浸润腐蚀影响，因而加工边缘陡直，精度高，光刻性能优于同步载射线光刻。 精密小孔激光打孔的操作注意事项。湖州激光打孔微孔加工

微孔加工方法：激光加工主要对应的是0.1mm以下的材料，电子工业中已经较广地应用了激光加工技术。例如，精密电子部件、集成电路芯片引线以及多层电路板的焊接；混合集成电路中陶瓷基片或宝石基片上的钻孔、划线和切片；半导体加工工艺中激光区域加热和退火；激光刻蚀、掺杂和氧化；激光化学汽相沉积等。但是作为金属的微孔加工，激光存在的问题是会产生一些烧黑的现象，容易改变材料材质，以及残渣不易清理或无法清理的现象。不是完美的微孔加工解决方案。如果要求不高，可以试用，但是针对批量的订单，激光加工就无法满足客户的交期和成本的期望值。 广州微孔加工批发水助激光属于激光微孔加工的一种。

激光打孔的过程可大致分为如下几个阶段: 首 先，激光束照射样品，样品吸收光能; 其次，光能转化 为热能，对样品无损加热; 接着，样品熔化、蒸发、汽化 并飞溅、破坏; 然后，作用结束，冷凝形成重铸层。其中，激光脉冲数目和激光单脉冲能量对加工出的微孔 锥度有一定影响。在一定范围内微孔深度和激光脉 冲数目正相关，微孔锥度和激光脉冲数目负相关，微 孔锥度和激光单脉冲能量负相关。通过选择适当 的激光脉冲个数和单脉冲能量，可以得到所需深度和 锥度的倒锥微孔。

微孔加工方法：

电火花是微孔加工的重要组成部分，电火花微孔加工技术随着微机械、精密机械、光学仪器等领域的不断拓展而得到较广的关注。电火花微孔加工以其加工中受力小、加工的孔径和深度由调节电参数就可得到控制等优势，使其在各国的研究日益活跃。但是电火花加工是一个典型的慢加工，在加工微孔时表现得尤为明显，时间随着加工精度的提高而减慢。对于少量的孔如：2个或5个左右，可以使用，主要是针对模具打孔等操作，无法批量生产，费用高。 激光微孔加工的注意事项。

激光穿孔的基本原理为：当一定能量的激光束照射在金属板材表面时，除一部分被反射以外，被金属吸收的能量使金属熔化形成金属熔融池。而熔融的金属相对金属表面的吸收率增加，即能够更多地吸收能量加速金属的熔融。此时适当地控制能量和气压就能除去熔池内的熔融金属，并不断地加深熔池，直至穿透金属。

在实际应用中，穿孔通常分为两种方式：脉冲穿孔和爆破穿孔。

脉冲穿孔的原理是采用高峰值功率、低占空比的脉冲激光照射待切割板材，使少量材料熔化或汽化，并在不断击打与辅助气体的共同作用之下被排出所穿孔径，并不断循序渐进直至穿透板材。

激光照射的时间是断续的，同时其使用的平均能量比较低，因此被加工材料全体所吸收的热量相对较少。穿孔周围的残热影响较少，在穿孔部位残留的残渣也较少。这样穿出的孔也比较规则且尺寸较小，对开始的切割也基本不会产生影响。

激光微孔加工的优点是什么？湖州激光打孔微孔加工

激光直写技术

准分子激光波长短、聚焦光斑直径小、功率密度高，非常适合于微加工和半导体材料加工。在准分子激光微加工系统中，大多采用掩膜投影加工，也可以不用掩膜，直接利用聚焦光斑刻蚀工件，将准分子激光技术与数控技术相结合，综合激光光束扫描与X-Y 工作台的相对运动以及Z 方向的微进给，可以直接在基体材料上扫描刻写出微细图形，或加工出三维微细结构。目前采用准分子激光直写方式可加工出线宽为数微米的高深宽比微细结构。另外，利用准分子激光采取类似快速成型(RP)制造技术，采用逐层扫描的方式进行三维微加工的研究也已取得较好结果。 湖州激光打孔微孔加工

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