MEMS即微机电系统(MicroelectroMechanicalSystems),是MEMS传感器在微电子技术基础上发展起来的多学科交叉的前沿研究领域。经过四十多年的发展,已成为世界瞩目的重大科技领域之一。它涉及电子、机械、材料、物理学、化学、生物学、医学等多种学科与技术,具有广阔的应用前景。MEMS传感器是采用微电子和微机械加工技术制造出来的新型传感器。与传统的传感器相比,它具有体积小、重量轻、成本低、功耗低、可靠性高、适于批量化生产、易于集成和实现智能化的特点。同时,在微米量级的特征尺寸使得它可以完成某些传统机械传感器所不能实现的功能。光纤传感器有什么作用?河北导电塑料位移传感器

所谓光纤自身的传感器,就是光纤自身直接接收外界的被测量。外接的被测量物理量能够引起测量臂的长度、折射率、直径的变化,从而使得光纤内传输的光在振幅、相位、频率、偏振等方面发生变化。测量臂传输的光与参考臂的参考光互相干涉(比较),使输出的光的相位(或振幅)发生变化,根据这个变化就可检测出被测量的变化。光纤中传输的相位受外界影响的灵敏度很高,利用干涉技术能够检测出10的负4次方弧度的微小相位变化所对应的物理量。利用光纤的绕性和低损耗,能够将很长的光纤盘成直径很小的光纤圈,以增加利用长度,获得更高的灵敏度。河北导电塑料位移传感器磁旋转传感器在家用电器中也有大的应用潜力。

对于位移传感器参数指标主要有以下几点:1、灵敏度方面的技术指标:对于一个仪器来说,一般都是灵敏度越高越好的,因为越灵敏,对周围环境发生的加速度的变化就越容易感受到,加速度变化大,很自然地,输出的电压的变化相应地也变大,这样测量就比较容易方便,而测量出来的数据也会比较精确的。2、零点温漂:环境温度的变化引起的零点平衡变化。一般以温度每变化10℃时,引起的零点平衡变化量对额定输出的百分比来表示,即传感器不受压时的输入由温度变更引起的漂移。3、带宽方面的技术指标:带宽指的的是传感器可以测量的有效的频带,比如,一个传感器有上百HZ带宽的就可以测量振动了,一个具有五十HZ带宽的传感器就可以有效测量倾角了。4、输出方式的技术指标:数字输出和模拟输出两种方式。数字式传感器向仪表输入的是数字信号,如数量、重量等;模拟式传感器向仪表输入的是模拟量信号,如电压、电流等。5、量程方面的技术指标:测量不一样的事物的运动所需要的量程都是不一样的,要根据实际情况来衡量。6、极限过载:传感器能承受的不使其丧失工作能力的最大负荷。意思是当工作超过此值时,传感器将会受到长久损坏。
分辨率与噪声看着类似,其实是有差别的,分辨率更常用方根功率谱密度与测量带宽的平方根之积,也就是频带内的有效值表征,而噪声则是用不同频率的方根功率谱密度表征,图4是某型号传感器分辨率与噪声的指标参数。噪声往往决定了传感器能测量的较小量,分辨率则决定了传感器测量的较小变化量。在实际测试中要注意区分两者的区别,尤其对于微震测试,不能只依据分辨率来判断传感器能否满足测试要求。对于白噪声信号,其功率谱密度(PSD)或方根功率谱密度(root-PSD)的幅值不会随着FFT点数或频率分辨率的改变而改变,但有效值谱的幅值会随着FFT点数或频率分辨率的改变而改变,而周期信号则与此相反,因此我们可以利用这点来降低噪声的影响以提高数据的信噪比。磁光效应传感器就是利用激光技术发展而成的高性能传感器。

大多数红外传感器测距都是基于三角测量原理。红外发射器按照一定的角度发射红外光束,当遇到物体以后,光束会反射回来,如图所示。反射回来的红外光线被CCD检测器检测到以后,会获得一个偏移值L,利用三角关系,在知道了发射角度α,偏移距L,中心矩X,以及滤镜的焦距f以后,传感器到物体的距离D就可以通过几何关系计算出来了。红外传感器的优点是不受可见光影响,白天黑夜均可测量,角度灵敏度高、结构简单、价格较便宜,可以快速感知物体的存在,但测量时受环境影响很大,物体的颜色、方向、周围的光线都能导致测量误差,测量不够精确。哪种尺寸的传感器适合你?河北微压差传感器
尿素传感器,主要是由生体膜及其离子通道两部分构成。河北导电塑料位移传感器
传感器由敏感元器件(感知元件)和转换器件两部分组成,有的半导体敏感元器件可以直接输出电信号,本身就构成传感器。敏感元器件品种繁多,就其感知外界信息的原理来讲,可分为①物理类,基于力、热、光、电、磁和声等物理效应。②化学类,基于化学反应的原理。③生物类,基于酶、抗体、和等分子识别功能。通常据其基本感知功能可分为热敏元件、光敏元件、气敏元件、力敏元件、磁敏元件、湿敏元件、声敏元件、放射线敏感元件、色敏元件和味敏元件等几大类(还有人曾将传感器分46类)。下面对常用的热敏、光敏、气敏、力敏和磁敏传感器及其敏感元件介绍如下。河北导电塑料位移传感器
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