干式真空泵的应用范围比较广,主要有以下几个方面:
1)低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中;
2)半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒;
3)除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺,不希望微粒混入泵油中,而希望微粒排出泵外,则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求;
4)在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等,要防止有机溶剂造成污染,适合用干式真空泵;
5)用做一般无油清洁真空系统的前级泵,以防止油污染。
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干式螺杆真空泵选型
干式螺杆真空泵在其工作压力下,应能排走真空泵设备工艺过程中产生的全部气体量。
每种泵都有一定的工作压力范围,因而,泵的工作点应该选择在这个范围之内,而不能让它在允许工作压力以外长时间工作。
干式螺杆真空泵的极限压力应该满足该工艺的工作压力。通常选择泵的极限压力低于工艺要求约一个数量级。
选择真空机组:
了解被抽气体成分,气体中含不含可凝蒸汽,有无颗粒灰尘、有无腐蚀性等。选择干式螺杆真空泵时,需要知道气体成分,针对被抽气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸汽、颗粒、及腐蚀性气体,应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备,如冷凝器、除尘器等。
干式螺杆真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响,若工艺过程不允许,应选择无振动的泵或者采取防振动措施。
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日本KASHIYAMA MU100P/H干式真空泵 技术参数&配置清单
一、 技术参数:
式样:MU100P/H
MAX排气速度(L/min):1660
达到压力(Pa):3.0
电源电压:3相 AC200-220V
消费电力(KW):0.7KW
外型尺寸WHL [mm]:350×360×630
质量【kg】:70kg
二、 配置清单:
序号
描述
数量
备注
1
MU100P/H主机一台,电压AC三相200V
1
标配
2
电源线
1
标配
3
冷却水管路接头
1
标配
4
操作手柄
1
标配
5
产品合格证
1
标配
6
消音器(原厂件,选配)
未包含
7
入口过滤器(选配,非原厂件)
未包含
设备原产地:日本
当您选择油封泵时,您应该首先了解您的真空系统是否对油污染有要求。若设备严格要求无油时,应该选各种无油泵,如:水环泵、低温泵等。如果要求不严格,可以选择有油泵,加上一些防油污染措施,如加冷阱、挡油阱、挡板等,也能达到清洁真空要求。当使用一种泵不能满足抽气及真空要求时,需要几种泵组合起来,互相补充才能满足工艺要求。当选择油封真空泵时,要考虑真空泵排出来的油蒸汽(油烟)对环境的影响如何。如果环境不允许有污染,应该选无油真空泵,或者把油蒸汽排到室外。浚和(上海)仪器有限公司销售干式真空泵价格低廉。
日本KASHIYAMA SDE20N12TX干式真空泵 技术参数&配置清单
一、 技术参数:
式样 |
SDE20N12TX |
MAX排气速度(L/min) |
30000 |
达到压力(Pa) |
0.5 |
电源电压 |
3相 AC200-220V,380-480V |
消费电力(KW) |
3.3KW |
外型尺寸WHL [mm] |
450×1000×1000 |
序号 |
描述 |
数量 |
备注 |
1 |
SDE20N12TX主机一台 |
1 |
标配 |
2 |
电源线 |
1 |
标配 |
3 |
冷却水管路接头 |
1 |
标配 |
4 |
操作手柄 |
1 |
标配 |
5 |
产品合格证 |
1 |
标配 |
6 |
消音器(原厂件,选配) |
|
未包含 |
7 |
入口过滤器(选配,非原厂件) |
|
未包含 |
设备原产地:日本
日本KASHIYAMA真空泵特性:1、设备运转时,旋叶与旋叶、旋叶与腔壁之间没有任何摩擦,保证设备长期正常工作。2、采用空冷式方式,不需配置冷却水,从而节省空间。3、采用气镇(Gas Ballast)结构,可以排出所吸取的水蒸气。4、若只抽取空气与氮气的情况下,只需三年维护一次,延长了设备的使用寿命,降低真空泵的使用成本。
樫山工业Neodry36E小型风冷干式真空泵成为等离子清洗机制造商的新宠。深圳KASHIYAMA干式真空泵现货
螺杆式干式真空泵的应用
螺杆式干式真空泵广应用于电子、核能、化工、医药、食品工业等领域。在半导体工业中用于生产芯片、制造液晶显示器、蚀刻、生产***SMA的CVD制程。在核工业中用于核反应堆及核工业真空获得;化工上用于真空蒸馏及溶剂萃取高效回收溶剂,在脂肪酸生产中用来消除水污染,移除喷射器中的阻塞物;医药工业中用于回收药液及药品中间体,为人造组织生产提供清洁无菌条件,回收气体消毒剂;食品工业中用于香料、香精浓缩,食品包装等。应用范围极为广。具体如下:
具体应用:干燥处理、真空蒸馏、分子蒸馏、溶剂的回收、油气回收、工厂普通真空、电子、真空镀膜、航空、核工业领域 能够抽除普通空气,易燃易爆气体、腐蚀性气体,尤其能满足对获得清洁真空要求较高的环境。 具体应用:真空镀膜、真空蒸馏、真空干燥、拉单晶、特气制造、离子刻蚀等。
纺织、冶金等行业 在氨纶、芳纶、纤维、冶金等相关工艺中应用干式真空泵, 具体应用:真空脱泡、VOD真空吹氧脱碳法等。 深圳KASHIYAMA干式真空泵现货
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无油干式真空泵有着空前的节能与环保优势,更表未来泵业发展的一种趋势,而众多的干式无油真空泵有着不同真空参数和不同的功能区别,如何根据自身工艺特点选择那种干式无油真空泵的型号,就首先了解各种不同类型干式无油真空泵的选型知识。这样做出的选择才 能够尽可能采购到理想的真空泵和降低采购成本,从而获得一个稳定的真空需求。给企业的未来带来很高的经济效益。无油干式真空泵的用户大部分是由原先的油封真空泵、水环真空泵用户转换而来。那为什么越来越多的企业客户要放弃原先的油封真空泵或水环真空泵,而选择干式无油真空泵呢?干式真空泵,就选浚和(上海)仪器有限公司,用户的信赖之选,有想法的不要错过哦!辽宁安全干式真空泵联...