探针台基本参数
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探针台企业商机

手动探针台的使用方式:1.将样品载入真空卡盘,开启真空阀门控制开关,使样品安全且牢固地吸附在卡盘上。2.使用卡盘X轴/Y轴控制旋钮移动卡盘平台,在显微镜低倍物镜聚焦下看清楚样品。3.使用卡盘X轴/Y轴控制旋钮移动卡盘平台将样品待测试点移动至显微镜下。4.显微镜切换为高倍率物镜,在大倍率下找到待测点,再微调显微镜聚焦和样品x-y,将影像调节清晰,带测点在显微镜视场中心。5.确保针尖和被测点接触良好后,则可以通过连接的测试设备开始测试。常见故障的排除当您使用本仪器时,可能会碰到一些问题,下表列举了常见的故障及解决方法。手动探针台技术参数。上海勤确科技有限公司与广大客户携手共创碧水蓝天。青海全自动探针台供应商

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随着半导体行业的迅速发展,半导体产品的加工面积成倍缩小,复杂程度与日俱增,生产半导体产品所需的制造设备需要综合运用机械、光学、物理、化学等学科技术,具有技术壁垒高、制造难度大及研发投入高等特点。探针台属于重要的半导体测试装备,在整个半导体产业的多个环节起着重要作用,是晶圆厂和元器件封测企业的重要设备之一。随着自动化技术的飞速发展,市场对自动化探针台需求旺盛。自动化探针台搭配测试机能够对出厂晶圆片的电气参数、光学参数进行测试,根据测试结果评定上一道工序的工艺质量,并指导下一道工序。湖南自动探针台机构半导体设备价值普遍较高,一条先进半导体生产线投资中,设备价值约占总投资规模的75%以上。

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相对于平面电机工作台,丝杠导轨结构的工作台结构组成较复杂,工作台由上层(x向)及下层(y向)两部分组成。工作台由两个步进电机分别驱动x、y向精密滚珠丝杠副带动工作台运动,导向部分采用精密直线滚动导轨。由于运动部分全部采用滚动功能部件,所以具有传动效率高、摩擦力矩小,使用寿命长等特点。这种结构的工作台应放置在温度23±3℃,湿度≤70%,无有害气体的环境中,滚珠丝杠、直线导轨应定期加精密仪表油,但不可过多,值得指出的是,这种结构的工作台在装配过程中,从直线导轨的直线性,上下层工作台之间的垂直度以及工作台的重复性。

晶圆级半自动面内磁场探针台详细参数:垂直或面内磁场探针台,通用性设计;容纳12寸晶圆,且向下兼容8寸、6寸、碎片;兼容4组探针(RF或DC测试);提供Z轴探针平台快速升降功能,实现高效测试;磁场强度≥330 mT;直流探针(4组)或微波探针(4组);XY电控行程±150 mm,调节精度2μm;T轴手动调节±5°,小至调节精度5’。晶圆级半自动二维磁场探针台:详细参数可对晶圆施加垂直或面内磁场,兼容性设计;容纳12寸晶圆,且向下兼容8寸、6寸、碎片;兼容4组探针(RF或DC测试);提供Z轴探针平台快速升降功能,实现高效测试;磁场强度≥0.7 T;直流探针(4组)或微波探针(4组);XY电控行程±150 mm,调节精度2μm;T轴手动调节±5°,小到调节精度5’。探针台需要特别注意的是在未加压缩空气时不可强行拉动动子,以免造成定子及动子的损伤。

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探针台工作台由两个步进电机分别驱动x、y向精密滚珠丝杠副带动工作台运动,导向部分采用精密直线滚动导轨。由于运动部分全部采用滚动功能部件,所以具有传动效率高、摩擦力矩小,使用寿命长等特点。这种结构的工作台应放置在温度23±3℃,湿度≤70%,无有害气体的环境中,滚珠丝杠、直线导轨应定期加精密仪表油,但不可过多,值得指出的是,这种结构的工作台在装配过程中,从直线导轨的直线性,上下层工作台之间的垂直度以及工作台的重复性,定位精度等都是用专业的仪器仪表调整,用户一般情况不能轻易改变,一旦盲目调整后很难恢复到原来的状态,所以对需要调整的工作台应有专业生产厂家或经过培训的专业人员完成。平面电机应使用在环境温度15~25℃,相对湿度小于50%的环境中。青海全自动探针台供应商

晶圆测试一般在晶圆厂、封测厂或专门的测试代工厂进行,主要用到的设备为测试机和探针台。青海全自动探针台供应商

手动探针台:普遍应用于,科研单位研发测试、院校教学操作、企业实验室芯片失效分析等领域。一般使用于研发测试阶段,批量不是很大的情况,大批量的重复测试推荐使用探卡。主要功能:搭配外接测试测半导体参数测试仪、示波器、网分等测试源表,量测半导体器件IV CV脉冲/动态IV等参数。用途:以往如果需要测试电子元器件或系统的基本电性能(如电流、电压、阻抗等)或工作状态,测试人员一般会采用表笔去点测。随着电子技术的不断发展,对于精密微小(纳米级)的微电子器件,表笔点到被测位置就显得无能为力了。于是一种高精度探针座应运而生,利用高精度微探针将被测原件的内部讯号引导出来,便于其电性测试设备(不属于本机器)对此测试、分析。青海全自动探针台供应商

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