磁场探针台主要用于半导体材料、微纳米器件、磁性材料、自旋电子器件及相关技术领域的电、磁学特性测试,能够提供磁场或变温环境,并进行高精度的直流/射频测量。我们生产各类磁场探针台,稳定性强、功能多样、可升级扩展,适用于各大高校、研究所及半导体行业的实验研究和生产。详细参数:二维磁场探针台,包含两组磁铁,可同时提供垂直与面内磁场;面内磁铁极头间距可根据样品尺寸调整以获得大的磁场,兼容性强;大兼容7组探针(4组RF,3组DC同时测试使用);Y轴提供大行程位移装置,在不移动探针情况下快速抽拉更换样品;配备样品台倾斜微调旋钮,确保样品平面平行于面内磁场方向;至多支持7组探针同时放置:直流探针(3组)+微波探针(4组);XY轴位移行程±12.5 mm,T轴旋转±5°;面内磁场单独施加时,磁场垂直分量优于0.025%。负责晶圆的输送与定位,使晶圆上的晶粒依次与探针接触并逐个测试。上海温控探针台供应

以往如果需要测试电子元器件或系统的基本电性能(如电流、电压、阻抗等)或工作状态,测试人员一般会采用表笔去点测。随着电子技术的不断发展,对于精密微小(纳米级)的微电子器件,表笔点到被测位置就显得无能为力了。于是一种高精度探针座应运而生,利用高精度微探针将被测原件的内部讯号引导出来,便于其电性测试设备(不属于本机器)对此测试、分析。探针台执行机构由探针座和探针杆两部分组成.在探针座有X-Y-Z三向调节旋钮,控制固定在针座上的探针杆做三向移动,移动范围12mm,移动精度可以达到0.7微米。这样可以把探针很好的点到待测点上(说明探针是耗材,一般客户自己准备),探针探测到的信号可以通过探针杆上的电缆传输到与其连接的测试机上,从而得到电性能的参数。对于重复测试同种器件,多个点位的推荐使用探针台安装探卡进行测试。北京温控探针台一般多少钱上海勤确科技有限公司服务至上,坚持优异服务、多年来,坚持科学管理规范、完善服务标准。

探针台的作用是什么?探针台可以将电探针、光学探针或射频探针放置在硅晶片上,从而可以与测试仪器/半导体测试系统配合来测试芯片/半导体器件。这些测试可以很简单,例如连续性或隔离检查,也可以很复杂,包括微电路的完整功能测试。可以在将晶圆锯成单个管芯之前或之后进行测试。在晶圆级别的测试允许制造商在生产过程中多次测试芯片器件,这可以提供有关哪些工艺步骤将缺陷引入终端产品的信息。它还使制造商能够在封装之前测试管芯,这在封装成本相对于器件成本高的应用中很重要。探针台还可以用于研发、产品开发和故障分析应用。
半自动型:chuck尺寸800mm/600mm;X,Y电动移动行程200mm/150mm;chuck粗调升降9mm,微调升降16mm;可搭配MITUTOYO金相显微镜或者AEC实体显微镜;针座摆放个数6~8颗;显微镜X-Y-Z移动范围2"x2"x2";可搭配Probe card测试;适用领域:8寸/6寸Wafer、IC测试之产品。电动型:chuck尺寸1200mm,平坦度土1u(不锈钢或镀金);X,Y电动移动行程300mm x 300mm;chuck粗调升降9mm,微调升降16mm,微调精度土1u;可搭配MITUTOYO晶像显微镜或者AEC实体显微镜;针座摆放个数8~12颗;显微镜X-Y-Z移动范围2“x2”x2“;材质:花岗岩台面+不锈钢;可搭配Probe card测试;适用领域:12寸Wafer、IC测试之产品。在探针台上装上打点器,打点器根据系统的信号来判断是否给芯片打点标记。

手动探针台规格描述(以实验室常见的仪准ADVANCED八寸,六寸探针台为例):探针台载物台平整度:5μm探针台右侧标配显微镜升降机构,可抬高显微镜,便于更换镜头和换待测物探针台左侧标配升降器,可快速升降台面8mm,并具备锁定功能探针台右下方标配精调旋转轮,可微调控制台面升降范围25mm(客户有特殊需求,可以增大范围),精度1μm6英寸或者8英寸载物盘可选,卡盘平整度:5μm,采用真空吸附方式,中心孔径250μm-1mm定制卡盘可0-360度旋转,旋转角度可微调,微调精度为0.1度,标配角度锁定旋钮大螺母可控制载物盘X-Y方向的移动,移动范围为150mm or 200mm,移动精度为1μm载物台具备快速导入导出功能。自动探针测试台和以采用精密滚珠丝杠副和直线导轨结构的x-y工作台型自动探针测试台。手动高低温探针台供应
晶圆级半自动面内磁场探针台详细参数:垂直或面内磁场探针台,通用性设计;容纳12寸晶圆。上海温控探针台供应
x-y工作台的维护与保养:无论是全自动探针测试台还是自动探针测试台,x-y向工作台都是其很中心的部分。有数据表明探针测试台的故障中有半数以上是x-y工作台的故障,而工作台故障有许多是对其维护保养不当或盲目调整造成的,所以对工作台的维护与保养就显得尤为重要。现在小编只对自动探针测试台x-y工作台的维护与保养作一一介绍。平面电机由定子和动子组成,它和传统的步进电机相比其特殊性就是将定子展开,定子是基础平台,动子和定子间有一层气垫,动子浮于气垫上,而可编程承片台则安装在动子之上。这种结构的x-y工作台,由于动子和定子间无相对摩擦故无磨损,使用寿命长。上海温控探针台供应