罗茨真空泵由于在泵腔内没有工作介质,实际上也是属于干泵。目前,这种气冷式直排大气罗茨泵及机组已经在石油、化工、塑料、农药、汽轮机转子动平衡。分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵,尤其是溅射、刻蚀和LCVD等装置都采用复合分子泵和牵引泵作为主泵。由于分子泵对水蒸气的抽速只为同口径低温泵抽速的四分之一,所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速,国外在分子泵的入口侧装一个-130℃~-150℃的低温冷板,称之为低温分子泵,水蒸汽被低温板捕获,其他气体则由分子泵抽走。真空泵的转子间及转子和壳体间均有间隙,不用润滑,摩擦损失小,可降低驱动功率。电动真空泵多少钱
在实际应用中,微型真空泵面临的排气状况是不一样的:一类是排气很顺畅,直通大气;另一类是排气阻力较大,比如在排气管路上有阀、细小弯管、大阻尼传感器、非专门用的消音器、在液面以下排气、气体排往密闭或半密闭容器等。在现代设计制造中,把面对不同排气条件的微型真空泵区别对待。"排气口允许较大阻力Por值"这一参数就是标定泵的排气能力,让我们可以用严格的技术手段确定选型是否恰当。简单地说,对于排气阻力大的系统,我们的选型范围是:FM系列、FAA系列、PCF系列;对于排气阻力小的系统,选型范围是:VM系列、VAA系列、PK系列、PC系列、VCA系列、VCC系列、VCH系列、PH系列。电动真空泵多少钱真空泵的工作压力应该满足工艺工作压力要求。
喷嘴是影响真空泵性能的重要部件,存在的问题有:喷嘴装错、装歪、堵塞、损坏、腐蚀和泄漏,不管采取何种预防措施,喷嘴的堵塞在所难免。一方面由于安装蒸汽管道时,管道中残存的铁屑及焊渣会堵塞喷嘴;另一方面,真空泵系统停用时,蒸汽管道易生锈,锈斑在使用时掉落堵塞喷嘴。蒸汽的影响:我们常用的真空泵为蒸汽喷发真空泵,是以过饱满水蒸汽为作业介质的,蒸汽的状况对泵的功能有决定性的影响。湿蒸汽不只影响泵的功能,还会腐蚀蒸汽喷嘴,添加泵的蒸汽用量,使泵的作业状况变得不稳定。
简化高真空机组,取消罗茨泵是分子增压泵的又一个优势。对于较大型的高真空应用设备,也可适当加强前级泵的预抽能力,进一步缩短抽气时间,由于预抽时间与整个排气过程相比很短,所以前级泵的使用时间也很短,因此可以兼作多套设备的预抽作用,而这往往是非常现实的。这就使规模化应用的真空机组得到的简化。在某些中真空应用中,需要进入10-1Pa范围,这对罗茨泵的二级机组往往难于实现,而使用二级罗茨泵串接的三级机组可使真空度提高一个数量级而进入10-1Pa,所以中真空应用也常用三级机组。当真空泵中的叶轮顺时针方向旋转时,由于离心力的作用,形成了一个决定于泵腔形状的封闭圆环。
在真空泵中,相对压强即所测内部压强比“大气压”低多少压强,表示出系统压强实际数值低于大气压强的数值。由于容器内部空气被抽,因此,内部的压强始终低于容器外部压强。所以当用相对压强或者表压强表示的时候,数值前面必须带负号,表示容器内部压强比外部压强低。极限压强,压强即所测内部压强比”理论真空(理论真空压强值为0Pa)”高多少压强。它所比较的对象为理论状态的真空压强值。由于工艺所限,我们无论如何都不能将内部压强抽到真空0Pa这个数值,因此,真空泵所抽的真空值比理论真空值要高。所以当用真空表示时,数值前面无负号。一般情况下,真空泵工作2000小时后应进行检修。电动真空泵求购
液环式真空泵是带有多叶片的转子偏心装在泵壳内。电动真空泵多少钱
罗茨真空泵转子由0°转到180°的抽气,在0°位置时,下转子从泵入口封入v0体积的气体。当转到45°位置时,该腔与排气口相通。由于排气侧压强较高,引起一部分气体返冲过来。当转到90°位置时,下转子封入的气体,连同返冲的气体一起排向泵外。这时,上转子也从泵入口封入v0体积的气体。当转子继续转到135°时,上转子封入的气体与排气口相通,重复上述过程。180°位置和0°位置是一样的。转子主轴旋转一周共排出四个v0体积的气体。电动真空泵多少钱
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