在粉末涂层领域,与流化床化学气相沉积相比,我们的PCS系统采用PVD技术,其过程温度通常更低,适用于对温度敏感的粉末材料。PVD涂层是无定形或纳米晶结构,更为致密,且不存在CVD前驱体可能带来的杂质掺...
查看详细
在晶圆制造的后道流程中,六角形自动分拣机的引入带来了明显的作业变革。它通过多传感器融合技术,能够对大量晶圆进行实时判别,不仅识别其工艺路径,还能区分质量等级,帮助生产线实现更合理的资源调配。其独特的六...
查看详细
凹口晶圆转移工具采用了特殊的凹槽设计,能够更好地固定晶圆,防止在搬运过程中发生滑动或偏移。晶圆的边缘通常较为脆弱,凹口设计通过准确匹配晶圆的尺寸和形状,使其在转移时得到有效支撑。该设计不仅提升了晶圆的...
查看详细
聚合物薄膜作为纳米压印工艺中的关键材料之一,因其优良的可塑性和适应性,在微纳结构复制中占有重要地位。纳米压印技术将带有精密纳米图案的模板压印到聚合物薄膜上,成功转移微小的图形结构,从而实现复杂功能的集...
查看详细
系统的负载锁定选件是一个极具价值的高级功能。它允许用户在维持主沉积腔室超高真空的同时,快速更换样品。这极大地提升了设备的吞吐量,尤其适用于需要处理大量样品的研发或小规模生产场景,同时保证了主工艺腔的洁...
查看详细
在柔性电子领域的创新应用,柔性电子是微电子行业的新兴领域,我们的设备通过倾斜角度溅射和可调距离功能,支持在柔性基材上沉积耐用薄膜。例如,在制备可穿戴传感器或柔性显示器时,我们的系统可确保薄膜的机械柔韧...
查看详细
半导体台式晶圆分选机针对半导体材料和工艺的特殊要求进行了设计,能够满足研发和工艺开发过程中对晶圆分选的多样化需求。设备采用机械手与视觉识别技术相结合的方式,在洁净环境中自动完成单片晶圆的取放及正反面检...
查看详细
椭偏仪(ellipsometry)在薄膜表征中的集成方案,椭偏仪(ellipsometry)作为可选模块,可集成到我们的镀膜设备中,用于非破坏性测量薄膜厚度和光学常数。在微电子和光电子学研究中,这种实...
查看详细
实验室环境对分拣设备提出了特殊的要求,设备不仅需要具备高精度的识别和分拣能力,还需适应较小批量、多样化的作业需求。六角形自动分拣机以其稳定的机械结构和灵敏的非接触式传感技术,能够满足实验室对晶圆分类的...
查看详细
连续沉积模式的高效性,连续沉积模式是公司科研仪器的工作模式之一,专为需要制备厚膜或批量样品的科研场景设计,以其高效性与稳定性深受研究机构青睐。在连续沉积模式下,设备能够在设定的参数范围内持续运行,无需...
查看详细
倾斜角度溅射在定制化薄膜结构中的创新应用,倾斜角度溅射是我们设备的一个独特功能,允许靶在30度角度内摆头,从而实现非垂直沉积,生成各向异性薄膜结构。在微电子和纳米技术研究中,这种能力对于开发新型器件,...
查看详细
晶圆边缘检测设备主要针对晶圆的边缘区域进行细致检查,这一区域往往是潜在缺陷集中的关键部位。通过对边缘进行准确的视觉检测,可以发现微小划痕、异物堆积以及工艺遗留问题,如CMP环等,这些缺陷可能对后续封装...
查看详细