上海弥正针对碳化硅(SiC)、氮化镓(GaN)等第三代半导体制造,打造专属超高纯气体解决方案,以 “适配宽禁带特性 + 准确工艺控制” 助力功率器件与射频器件量产。方案涵盖超高纯氨气、硅烷、氢气、氩气...
医疗检测设备的准确性依赖标准气体校准,涵盖肺功能仪、呼气分析仪等多种仪器。上海弥正为医疗设备行业定制特用标准气:用于肺功能仪校准的氦 - 氧混合气,氦气浓度准确至 10%,可通过气体稀释法评估肺通气功...
标准气体的正确使用与维护需专业技术支撑,服务可提升客户体验与产品价值。上海弥正组建专业技术服务团队,提供 “售前 - 售中 - 售后” 全流程服务:售前为客户提供气体选型咨询与方案设计,如根据检测仪器...
上海弥正超高纯磷烷(5N 级纯度),作为半导体制造中关键的 N 型掺杂气体,以 “准确掺杂 + 高安全性” 满足芯片电性能调控需求。通过络合纯化与吸附分离工艺,将杂质总含量控制在 100ppt 以下,...
在 “双碳” 目标推动下,标准气体的低碳生产与碳足迹管理成为行业趋势。上海弥正构建 “全生命周期低碳体系”:生产环节采用光伏电力驱动,能耗较传统工艺降低 30%;原料环节优先选用生物基原料,如从发酵副...
上海弥正低超高纯气体系列(≤-80℃),专为对水分敏感的电子制造、精密仪器等领域设计,以 “干燥 + 高纯度” 杜绝水分导致的生产缺陷。通过深度干燥与吸附提纯工艺,将气体中的水分含量控制在 50ppb...
上海弥正标准气体作为具有精确浓度与稳定特性的特种气体混合物,是现代工业与科研的 “计量基石”,完全符合 GB/T 35861-2024《气体分析 校准用混合气体的通用质量要求和计量溯源性》标准,该标准...
上海弥正构建了完善的标准气体分类体系,按组分可分为一元纯气、二元混合气与多元混合气,按用途涵盖校准用、医疗用、环保监测用等细分品类,为客户准确选型提供清晰指引。一元标准气如 99.9999% 超高纯氮...
半导体制造中,刻蚀工艺依赖卤素气体的强腐蚀性实现硅片图形化,不同卤素气体适配不同刻蚀需求。氟基混合气(如四氟化碳 - 氩气)可实现硅的各向同性刻蚀,用于浅槽隔离结构加工;氯基混合气(如氯气 - 氦气)...
船舶的燃料燃烧、机舱环境监测等环节需标准气体校准设备,确保航行安全。上海弥正开发的船舶特用标准气,包括船用柴油机尾气校准气、机舱可燃气体校准气等。用于尾气检测的氮中氮氧化物混合气,浓度覆盖 100-5...
上海弥正针对半导体制造全流程,打造涵盖超高纯氮气、氢气、氩气、氟化物气体等多品类的定制化气体解决方案,覆盖晶圆清洗、刻蚀、沉积、掺杂等**工艺。所有气体纯度均达到 5N-7N 级别,其中用于光刻工艺的...
新气体分析仪器的研发需通过标准气体验证精度、线性范围等性能指标,是产品市场化的关键步骤。上海弥正为仪器厂商提供 “定制化验证方案”,根据仪器类型开发特用标准气:针对便携式气体检测仪,开发低浓度、小包装...